成果介绍

一种基于金属异质量子点的浮栅存储器的制备方法


2018年10月19日 08:31  点击:[]

本发明涉及一种基于金属异质量子点的浮栅存储器及其制备方法,包括半导体衬底,半导体衬底上设置有隧穿层;隧穿层上设置有银/金异质量子点薄膜层,银/金异质量子点薄膜层经退火后形成银/金异质量子点,银/金异质量子点通过俘获隧穿电荷来实现信息存储;银/金异质量子点薄膜层上设置有用于阻挡银/金异质量子点俘获的电荷进入第一电极的阻挡层;阻挡层上设置有用于给阻挡层供电的第一电极,半导体衬底上设置有用于给半导体衬底供电的第二电极。本发明基于金属异质量子点的浮栅存储器具有存储电荷密度高、数据保持特性好、操作电压低、擦写速度快等优点。



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